Tuotteen nimi: Zirkonium sputtering Target

Materiaaliluokka: Zr702 (ASTM B493, luokka R60702)

Puhtausaste: 99,95 % (3N5) Metalli-pohjainen (Hf-vapaa)

Ydinsovellukset: Kehittynyt puolijohdepakkaus, optinen pinnoite, aurinkokennon takaelektrodi, mikroelektroninen liitäntäkerros (PVD-prosessi)

Valmistusstandardit: Täyttää standardeja ASTM B493/B493M-14 (spesifikaatio zirkonium- ja zirkoniummetalliseoksille) ja SEMI M13-1102 (yleiset sputterointikohteiden spesifikaatiot)

Zirkoniumruiskutustavoitteen teoreettinen tiheys on 6,51 g/cm³, sen tiheys on suurempi tai yhtä suuri kuin 99,0 %, sen lämmönjohtavuus on 22,6 W/m·K ja sen lämpölaajenemiskerroin (20–300 astetta) on 5,7 × 10⁻. Nämä parametrit ovat mitattuja arvoja korkean -puhtausasteen Zr702-kohteille tavallisessa hehkutetussa tilassa, jotka soveltuvat suuritehoisiin DC/RF-magnetronisputterointisovelluksiin, ja niiden lämpöstabiilius on yli 99,9 %:n puhtausmateriaalit.

Tuotteen pinnan laatu- ja mikrorakennevaatimukset:

Raekoko: Pienempi tai yhtä suuri kuin 50 μm (keskiarvo), mitattuna EBSD:llä (electron Backscatter Diffraction), raekokojakauman keskihajonnan ollessa pienempi tai yhtä suuri kuin 15 μm.

Pinnan karheus (Ra): Alle tai yhtä suuri kuin 0,8 μm, mitattuna 3D-optisella profilometrillä (ISO 4287), ei naarmuja, painaumia ja kuoppia.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² hylätään.

Mikrorakenne: Tasainen tasaakselinen -vaiherakenne. SEM (500-kertainen suurennus), ilman huokosia, sulkeumia ja erottelua.

Kaikki kohteet tiivistetään kuumaisostaattisella puristamalla (HIP), jotta varmistetaan raerajasidontalujuus, joka on suurempi tai yhtä suuri kuin 180 MPa, mikä täyttää vaatimuksen, jonka mukaan delaminoitumisen epäonnistuminen kestää enintään 500 tuntia jatkuvan sputteroinnin jälkeen.

Zirkoniumruiskutuskohteen pakkaus- ja toimitustiedot (GHS- ja IEC-yhteensopiva):

Sisäpakkaus: Tyhjiösuljettu (vähemmän tai yhtä suuri kuin 1 × 10⁻³ mbar) + täytetty erittäin -puhtaalla argonilla (99,999 %), ASTM F2095:n mukainen.

Ulkopakkaus: Kaksinkertainen-kosteudenkestävä-alumiinifoliopussi + EPE-vaimennusvaahto + puinen laatikko (ISPM-15-yhteensopiva), IEC 60068-2-78.

Kosteussuojatarra: Kosteus{0}}kestävä + kosteusilmaisinkortti (alle tai yhtä suuri kuin 5 % RH), IEC 60068-2-30:n mukainen.

Käyttöturvallisuustiedote/käyttöturvallisuustiedote: yhteensopiva GHS:n 7. version kanssa, sisältää 16 standardiosaa, mukaan lukien Zr-pölyräjähdysvaarat (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Lähetysetiketti: UN 1399 (ei--syttyvä kiinteä metalli) + syövyttäviä aineita.

Jokainen laatikko sisältää kuivausainepaketin (silikageeli) ja kosteusmittarin. Lämpötilan säätö koko kuljetuksen ajan: 5-30 astetta, suhteellinen kosteus Alle tai yhtä suuri kuin 40%.

FAQ

K: Voitko tarjota tyypillisiä asiakastapaustutkimuksia zirkoniumruiskutuskohteesta?

V: Maailman kymmenen suurinta puolijohdevalmistajaa, mukaan lukien TSMC, Samsung Electronics, Intel ja SK Hynix, ovat kaikki zirkoniumkohteiden epäsuoria loppukäyttäjiä. Niiden kehittyneissä prosesseissa (kuten alle 5 nm:n solmut) käytetään laajalti Zr702-kohteita metalliestekerroksissa, rajapintojen passivointikerroksissa ja yhteenliittämisrakenteissa, jotka on sijoitettu käyttämällä PVD-laitteita, kuten Applied Materials Endura® ja Lam Research Kiyo®. Zirkoniumkohteet on siis upotettu keskeisiksi toiminnallisiksi materiaaleiksi niiden massatuotantoprosesseissa.

Johtavat kansainväliset näyttö- ja aurinkosähköyritykset, kuten LG Display, Samsung Display ja First Solar, käyttävät korkean-puhtausasteen zirkoniumkohteita OLED-paneelielektrodien pinnoituksessa ja CIGS-aurinkokennojen takaelektrodien valmistuksessa saavuttaakseen alhaisen-resistanssin, korkean-vakauden metalliohutkalvopinnoituksen, mikä täyttää suuren tuotannon vaatimukset{4a.a.u.3}

Ilmailu- ja puolustusalan huippuluokan-valmistajat, kuten Lockheed Martin, Boeing ja Northrop Grumman, käyttävät zirkoniumkohteita korkean lämpötilan, korroosion-kestävän pinnoitteen PVD-pinnoittamiseen, joita käytetään moottorin osiin, lämpösuojajärjestelmiin ja tutkavarkainrakenteisiin. Niiden hankintastandardit ovat tiukat, ja ne edellyttävät AS9100D-sertifioinnin ja erän COA-jäljitettävyyden noudattamista.

K: Hyväksytkö pankin remburssit?

V: Kyllä, hyväksymme remburssit (L/C) ostosten maksuvälineeksi. Pysy yhteydessä.

K: Ovatko zirkoniumruiskutuskohteet yleensä ISO 9001-, IATF 16949- ja AS9100 -sertifioituja?

V: Kyllä, zirkoniumruiskutuskohteiden alalla teollisuus- ja huippuluokan{0}}sovelluksissa ISO 9001-, IATF 16949- ja AS9100D-sertifikaateista on tullut yleisiä ja pakollisia standardeja.

Suositut Tagit: zirkoniumruiskutuskohde, Kiina zirkoniumruiskutuskohteen valmistajat, toimittajat, tehdas